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新款升PARKER氣動隔膜閥PV-11-002

簡要描述:

新款升PARKER氣動隔膜閥PV-11-002
? 電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
? 高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性)
? 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計可地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
? 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
? 內(nèi)部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
? 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
? AOP驅(qū)動,額定壓力為75 ps

更新時間:2025-03-03
訪問量:2105

新款升PARKER氣動隔膜閥PV-11-002
工作原理:
派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計,可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*的工藝污染。
該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計,控制閥座和隔膜應(yīng)力,以提供和免維護的使用壽命。
930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕和泄漏完整。
閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。
 Vericlean™ 是派克專有的UHP不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質(zhì)。 
930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹脂(PEEK®)和聚酰亞胺(Vespel®)材質(zhì)的閥座,可使930閥門與各種工藝流體相兼容。
這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計特點,給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達300 psig時度的耐腐蝕和大循環(huán)使用壽命。
930系列氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān),用以提供開 - 關(guān)位置指示。
還有多種閥體構(gòu)造可選,包括930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。
930系列閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進行氦氣泄露測試,以確保在苛刻的UHP應(yīng)用中,保有其能和。

• 通用型,使用壽命長,結(jié)構(gòu)緊湊
• 用于減壓閥出口控制,氣體控制面板和取樣分析系統(tǒng)
• 常開和常閉兩種形式可選
• 多種氣控執(zhí)行壓力可選
• 多種手柄形式可選
• 用于減壓閥出口控制閥,氣體控制面板和分析取樣系統(tǒng)
壓力等:250psig
溫度范圍: -26℃-66℃;
連接方式:卡套、NPT、PT以及ISO螺紋連接;
閥體部分材質(zhì)為SS316,哈氏合金和黃銅可選;
• 過流關(guān)斷閥
• 手動和氣動控制可選
• 閥門功能不受安裝位置影響(可水平,豎直,傾斜安裝)
• 六種壓力/流量設(shè)定范圍
• 焊接接頭和1/4"NPT內(nèi)螺紋接頭可選
• 清晰的顯示操作位置—"打開(重置)"或者"自動(關(guān)閉)"

新款升PARKER氣動隔膜閥PV-11-002

 

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